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產(chǎn)品資料
Nordson Sonoscan AW300超聲掃描顯微鏡C-SAM
產(chǎn)品型號:AW 300 C-SAM
簡介介紹:

AWTM 系列產(chǎn)品是專門為晶圓檢測設(shè)計全自動系統(tǒng)。適用于多種鍵合晶圓 (SOI、MEMS、LED、2.5D和3D)的檢測分析, 具有極高的靈敏度和產(chǎn)能。AW系列能夠檢測出兩晶片間直徑小于5微米的空洞以及晶片間薄如200埃的脫層。AW具有兩個或者多個掃描頭,一個緩沖工作臺,一個干燥室。它可以同時掃描兩個晶圓,并且同時對完成掃描的晶圓進行干燥, 從而提高產(chǎn)能。

詳情介紹
Nordson Sonoscan AW300超聲掃描顯微鏡C-SAM主要特點

 ·Quantitative Dynamic ZTM量化動態(tài)Z功能-對不平整的晶圓保持聚焦

·與SECS-II/GEM/SEMI300毫米標(biāo)準(zhǔn)兼容

·全自動檢測100mm至300mm的晶圓

·瀑布式探頭提供非浸泡掃描

·圖像分析功能

·BOLTS標(biāo)準(zhǔn)接口適用于FOUPs, SMIF Pod, FOSB及開放式晶圓盒

·自供水和抽真空組件(選項)

粵公網(wǎng)安備 44030702002241號