三維光學輪廓儀
產(chǎn)品型號：ContourX-500
簡介介紹：臺式全自動三維形貌計量設(shè)備
詳情介紹
ContourX-500光學輪廓儀是世界上的快速，非接觸
式3D表面計量自動化臺式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有
的自動傾斜光學測頭，可以完全編程并自動測試一定角度
范圍內(nèi)的表面特征，并能大程度地減少跟蹤誤差。
ContourX-500滿足計量要求，具有Z軸分辨率和
準確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉
儀（WLI）落地式型號所有業(yè)界公認的優(yōu)點。利用業(yè)界先
進的用戶界面，ContourX-500可以直觀地調(diào)用多種預(yù)設(shè)
好的濾鏡和分析工具。借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)
品可以輕松地針對各種復(fù)雜應(yīng)用場景定制分析方法。這些
場景涵蓋了從精密加工表面和半導體工藝制程，到眼科和
MEMS器件的R＆D表征
先進的臺式三維形貌計量設(shè)備
? 與放大倍率無關(guān)的業(yè)界*好Z軸分辨率
? 自動化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測
頭傾斜和自動亮度調(diào)整
? 更緊湊的氣動減震臺設(shè)計
測量與分析功能
? 易于使用的界面，可快速準確地獲得結(jié)果
? 廣泛的自動化功能，可量身定制測量和分析程序
? 廣泛的濾鏡和分析工具
? 滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內(nèi)
的定制化分析報告
大掃描量程 ≤10 mm
垂直分辨率1 <0.01 nm
水平分辨率 0.38 μm min (Sparrow criterion);
0.13 μm (with AcuityXR®
)
臺階高度準確性2 <0.75%
臺階高度重復(fù)性 <0.1% 1 sigma repeatability
大掃描速度 37 μm/sec (with standard camera)
樣品反射率范圍 0.05% to 100%
大樣品傾角 ≤40° (shiny surfaces);
≤87° (rough surfaces)
樣品高度 ≤100 mm (4 in.)
XY 樣品臺 150 mm (6 in.)
encoded automation stage
Z 軸聚焦 Automated
傾斜功能 ±5° automated in head
光學計量模塊
Patented dual-color LED
illumination;
Single-objective adapter;
Optional automated or manual
turret;
Optional motorized or manual
discrete modules
物鏡
Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X,
115X; LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X;
TTM: 2X, 5X, 10X, 20X;
Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X
放大器 0.55, 0.75X, 1X 1.5X, 2X
攝像頭
Monochrome (standard) or
color (optional); 5 MP with
1200x1000 data array
軟件系統(tǒng) Vision64 and VisionXpress Analysis
Software on Windows 10 OS; 64-bit
可選軟件包
USI; Advanced PSI; Production
Mode; VisionMAP; AcuityXR®
; Optical
Analysis; SureVision; Film; MATLAB;
SDK, TCP/IP
自動測量功能
Advanced automated stitching,
scatter, and grid automation
standard with encoded motorized
XY stage; auto focus; auto intensity;
auto saving; on-fly analysis; and
recording into database
校準 Via NIST/PTB traceable step height
and lateral ruler standards
設(shè)備尺寸 480 mm (W) x 604 mm (D) x 700 mm
(H))
重量 70 kg
保修期 12 months
1
SiC標樣上重復(fù)30次PSI模式測量的標準偏差。
2采用8 μm以上臺階標樣
